Name: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
ISBN: 978-3-642-46882-7

Overview

Authors:

Jochen Schließer
1. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland
View author publications

You can also search for this author in PubMed Google Scholar

Part of the book series: IPA-IAO - Forschung und Praxis (IPA, volume 281)

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this book

eBook USD 49.99

Price excludes VAT (USA)

Softcover Book USD 79.99

Price excludes VAT (USA)

Tax calculation will be finalised at checkout

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

Jochen Schließer

Book Title: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Authors: Jochen Schließer
Series Title: IPA-IAO - Forschung und Praxis
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-46882-7
Publisher: Springer Berlin, Heidelberg
eBook Packages: Springer Book Archive
Copyright Information: Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 1999
Softcover ISBN: 978-3-540-65560-2Published: 26 January 1999
eBook ISBN: 978-3-642-46882-7Published: 08 March 2013
Edition Number: 1
Number of Pages: 123
Topics: Industrial and Production Engineering