Authors:
- Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen
- Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik
- Aktuelle Verfahren der mikroelektronischen Integrationstechnik
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Fakultät für Elektrotechnik, Informatik und Mathematik, Universität Paderborn, Paderborn, Germany
Ulrich Hilleringmann
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Bibliographic Information
Book Title: Silizium-Halbleitertechnologie
Book Subtitle: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Authors: Ulrich Hilleringmann
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
Publisher: Springer Vieweg Wiesbaden
eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)
Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature 2019
eBook ISBN: 978-3-658-23444-7Published: 12 December 2018
Edition Number: 7
Number of Pages: XI, 275
Number of Illustrations: 177 b/w illustrations
Topics: Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Circuits and Systems, Electronic Circuits and Devices, Semiconductors