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MEMS in der Mikrosystemtechnik

Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

  • Textbook
  • © 2005

Overview

Authors:
  1. Markus Glück

    1. Technologie Centrum Westbayern, Nördlingen, Deutschland

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  • Mikroelektromechanische Sensoren - Bausteine der Mechatronik und Mikrosystemtechnik

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Table of contents (10 chapters)

  1. Front Matter

    Pages 1-9
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  2. Einführung

    • Markus Glück
    Pages 11-20

  3. Grundlagen

    • Markus Glück
    Pages 21-64

  4. Verfahren der MEMS Fertigung

    • Markus Glück
    Pages 65-91

  5. Temperatursensoren

    • Markus Glück
    Pages 93-105

  6. Magnetfeldsensoren

    • Markus Glück
    Pages 107-118

  7. Strahlungssensoren und Fotodetektoren

    • Markus Glück
    Pages 119-137

  8. Mikro-Elektro-Mechanische Sensorsysteme

    • Markus Glück
    Pages 139-161

  9. Chemische Sensoren

    • Markus Glück
    Pages 163-168

  10. Systemintegration und Datenübertragung

    • Markus Glück
    Pages 169-183

  11. Energieversorgung

    • Markus Glück
    Pages 185-194

  12. Back Matter

    Pages 195-212
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Keywords

About this book

Sie messen den Reifendruck, lösen in Millisekunden Airbags aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Härtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter­ platten platziert werden. Vom Automobil über hoch komplizierte Maschinen bis hin zur klini­ schen Medizin funktioniert kaum mehr etwas ohne mikrosystemtechnische Sensoren. Schon heute sind die ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (abgekürzt: MEMS) aus unserem täglichen Leben nicht mehr wegzudenken. Airbags, ABS- und ESP Systeme, Herz­ schrittmacher und Mobiltelefone sind nur einige Beispiele für Produkte, in denen mikrotech­ nische Produkte eine entscheidende Rolle spielen. In eben dieser enormen Breite des Anwendungsspektrums liegt die besondere Bedeutung dieser Querschnitttechnologie - einer Königsdisziplin der Mechatronik und der Mikrosystem­ technik. Dennoch vollzog sich in den letzten Jahren ein fundamentaler Wandel. Unter dem Oberbegriff der ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (oder MEMS) wird zusehends die Integration von Sensoren und Aktuatoren der Mechatronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik unter Ausnutzung moderner Massenfertigungstechnologien verstanden. Dadurch erschließen sich überaus attraktive Anwendungsmöglichkeiten in den Bereichen Automobilelektronik, der Umwelt-, der Automatisierungs- sowie der Luft- und Raumfahrt­ technik. Hierbei kommt der ,,Mikromechatronik" - der Synthese aus Mikromechanik, Mikro­ elektronik sowie der Informations- und Kommunikationtechnik als kybernetisches System auf einem miniaturisierten Funktionsträger - eine bedeutsameSchrittmacherfunktion zu. Mehr und mehr wird die ,,Mikromechatronik" zur Grundlage für innovative Produkte mit gesteiger­ ter Funktionalität, höherer Zuverlässigkeit und besserer Wirtschaftlichkeit.

Authors and Affiliations

  • Technologie Centrum Westbayern, Nördlingen, Deutschland

    Markus Glück

About the author

Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.

Bibliographic Information

  • Book Title: MEMS in der Mikrosystemtechnik

  • Book Subtitle: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

  • Authors: Markus Glück

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-10778-1

  • Publisher: Vieweg+Teubner Verlag Wiesbaden

  • eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)

  • Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden 2005

  • eBook ISBN: 978-3-663-10778-1Published: 27 February 2015

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: 212

  • Number of Illustrations: 92 b/w illustrations

  • Topics: Engineering, general, Electronics and Microelectronics, Instrumentation

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